光刻胶的分类与效果全解
光刻胶的分类与效果全解光刻工艺中的基本知识
2.光刻工艺中的常用技术
(1).光刻胶的热特性及其重要性
(2).金属剥离技术---Lift-offmetal和P.R的厚度比; P.R的断面形状;底层金属的粘付性;溶胶法和蓝膜粘离法;EB设备. (3).半球形胶面的制备及应用
(4).底胶的去除问题
(5).其它
3. 与光刻工艺相关的其它技术
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